Смотреть больше слов в «Русско-белорусском словаре математических, физических и технических терминов»
"...д) ионное осаждение - специальная модификация процесса физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, в котором плазменный или ионный ... смотреть
асаджэнне іоннае